Generation and removal mechanisms of modified structures in single crystal diamond by nitrogen plasma-assisted polishing

抛光 材料科学 钻石 等离子体 氮气 单晶 化学工程 冶金 纳米技术 结晶学 有机化学 量子力学 物理 工程类 化学
作者
Chengxin Wang,Jiaqi Wan,Yuhua Huang,Ling Pan,Zhimin Chai,Jie Cheng,Yuanjing Dai,Yang Zou,Yuhong Liu
出处
期刊:Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
卷期号:73: 107457-107457
标识
DOI:10.1016/j.surfin.2025.107457
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