Creating zinc-hyperdoped silicon with modulated conduction type by femtosecond laser irradiation

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标题	Creating zinc-hyperdoped silicon with modulated conduction type by femtosecond laser irradiation 飞秒激光辐照制备调制导电型锌超掺杂硅相关领域硅半导体兴奋剂锌带隙材料科学光电子学杂质掺杂剂分析化学（期刊）化学冶金色谱法有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2023.171482
DOI	10.1016/j.jallcom.2023.171482 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Zhe-Yi Ren; Ji-Hong Zhao; Chao Li; Zhanguo Chen; Qi‐Dai Chen 出版日期：2023-07-20
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