| 标题 |
 Optimization of Tilted Profile in Ultra-High Aspect Ratio Etch Process for 3D NAND Flash Memory 三维NAND闪存超高宽高比刻蚀工艺倾斜轮廓的优化
相关领域
材料科学
薄脆饼
纵横比（航空）
闪光灯（摄影）
沟槽
与非门
制作
蚀刻（微加工）
闪存
光电子学
失真（音乐）
浅沟隔离
过程（计算）
计算机科学
电子工程
逻辑门
光学
纳米技术
计算机硬件
工程类
物理
CMOS芯片
图层（电子）
病理
操作系统
医学
放大器
替代医学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：2022 6th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM) 作者：Jinqing He; Zhiliang Xia; Meng Wang; Guangxuan Zhang; Haiqing Dou; et al 出版日期：2021-04-08 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
GingerF
仰望喀纳斯的星空
学术文献互助
Criminology34
嗷大喵
ablerHope
chandangfo
无极微光
OsamaKareem
虚拟的幻竹
Hayat
大力的灵雁
Guo
Kevin
刺猬
张欢馨
披着羊皮的狼
你瓜连这都没买
loii
xxt
皖公网安备34019202002308
