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标题
A chip-scale silicon cavity optomechanical accelerometer with extended frequency range
扩展频率范围的芯片级硅腔光机械加速度计
相关领域
加速度计 硅 硅片 炸薯条 航程（航空） 材料科学 光电子学 比例（比率） 电子工程 声学 物理 电气工程 工程类 量子力学 复合材料
网址
https://doi.org/10.1109/jsen.2024.3443309
DOI
10.1109/jsen.2024.3443309 doi
其它 期刊：IEEE Sensors Journal
作者：Zhe Li; Xinwei Li; Dingwei Chen; Sen‐Yu Zhang; Chengwei Xian; et al
出版日期：2024-08-20
求助人
John 在 2025-08-30 12:46:07 发布，悬赏 10 积分
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