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标题
EUV resist sensitization and roughness improvement by PSCAR with in-line flood exposure system (Conference Presentation)
通过PSCAR和在线泛光曝光系统进行EUV抗蚀剂敏化和粗糙度改善（会议演示）
相关领域
极紫外光刻 抵抗 介绍（产科） 大洪水 表面粗糙度 材料科学 表面光洁度 光学 工程物理 光电子学 纳米技术 计算机科学 物理 医学 历史 复合材料 图层（电子） 考古 放射科
网址
https://doi.org/10.1117/12.2297498
DOI
10.1117/12.2297498 doi
其它 期刊：
作者：Michael Carcasi; Tomoki Nagai; Motoyuki Shima; Toru Kimura; Takehiko Naruoka; et al
出版日期：2018-03-19
求助人
Huang 在 2025-10-27 07:30:41 发布自江苏，悬赏 20 积分
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