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标题
Highly-Selective Etching of Micro-Transfer-Printed Thin-Film Lithium Niobate for Low Coupling Losses
低耦合损耗微转移印刷铌酸锂薄膜的高选择性蚀刻
相关领域
铌酸锂 材料科学 蚀刻（微加工） 光电子学 联轴节（管道） 薄膜 干法蚀刻 锂（药物） 纳米技术 复合材料 内分泌学 图层（电子） 医学
网址
https://doi.org/10.1364/cleo_si.2024.sth3f.6
AI链接 ugent.bedoi.org
DOI
10.1364/cleo_si.2024.sth3f.6 doi
其它 期刊：
作者：Tom Vandekerckhove; Ruben Van Assche; Ivo Tanghe; Margot Niels; Stijn Poelman; et al
出版日期：2024-01-01
求助人
Chaos 在 2025-12-01 23:30:14 发布自青海，悬赏 10 积分
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