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标题
Highly-Selective Etching of Micro-Transfer-Printed Thin-Film Lithium Niobate for Low Coupling Losses
低耦合损耗微转移印刷铌酸锂薄膜的高选择性蚀刻
相关领域
铌酸锂 材料科学 蚀刻(微加工) 光电子学 联轴节(管道) 薄膜 干法蚀刻 锂(药物) 纳米技术 复合材料 内分泌学 图层(电子) 医学
网址
DOI
10.1364/cleo_si.2024.sth3f.6 doi
其它 期刊:
作者:Tom Vandekerckhove; Ruben Van Assche; Ivo Tanghe; Margot Niels; Stijn Poelman; et al
出版日期:2024-01-01
求助人
Chaos 在 2025-12-01 23:30:14 发布自青海,悬赏 10 积分
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