Development of PECVD SiC for MEMS Using 3MS as the Precursor

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标题	Development of PECVD SiC for MEMS Using 3MS as the Precursor 以3MS为前驱体的MEMS用PECVD SiC的研制相关领域材料科学复合材料表面微加工微电子机械系统等离子体增强化学气相沉积残余应力退火（玻璃）纳米压痕体微机械加工碳化硅薄膜制作光电子学纳米技术病理医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1557/proc-0911-b05-28
DOI	10.1557/proc-0911-b05-28 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：Jiangang Du; Neha Singh; James Bradley Summers; Christian A. Zorman 出版日期：2006-01-01
求助人	段青枫在 2024-03-27 21:41:09 发布自上海，悬赏 10 积分
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