Synthesis, Characterization, and Electron-Beam Lithography of Tetakis(Triphenylstannyl) Orthosilicate and Tetrakis(Triacetoxystannyl) Orthosilicate for the Development of Inorganic Molecular EUV Resists

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标题	Synthesis, Characterization, and Electron-Beam Lithography of Tetakis(Triphenylstannyl) Orthosilicate and Tetrakis(Triacetoxystannyl) Orthosilicate for the Development of Inorganic Molecular EUV Resists
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acs.inorgchem.6c00250
DOI	10.1021/acs.inorgchem.6c00250 doi
其它	期刊：Inorganic Chemistry 作者：Jiyoung Bang; Hyeok Yun; Soyeong Heo; Yusun Won; Seunghwan Kang; et al 出版日期：2026-05-14
求助人	樊珩在 2026-10-07 17:57:41 发布自上海，悬赏 10 积分
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