Unraveling crosslinking effects in EUV metal oxide photoresist performance via large-scale atomistic simulations

求助中

文献求助详情

标题	Unraveling crosslinking effects in EUV metal oxide photoresist performance via large-scale atomistic simulations
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3090801
DOI	10.1117/12.3090801 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII 作者：Ching-Yu Huang; Gyeong Hwang; Peter Ventzek; Shyam Sridhar; Zhiying Chen; et al 出版日期：2026-04-09
求助人	樊珩在 2026-10-07 17:57:39 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传

上个求助

下个求助

International Society for Optics and Photonics (SPIE)

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
1天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:57:42 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:57:39 科研通AI机器人（广州）收到请求，开始寻找文献

17:57:39 已向机器人发送请求
1天前

樊珩 Lv6 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: yhgz完成签到，获得积分10

11秒前; 潜行者完成签到，获得积分10

11秒前; 科研通AI6.2的应助被HHXXTTXS采纳，获得10

14秒前; 漂亮傲云完成签到，获得积分10

19秒前; 正在努力的学术小垃圾完成签到，获得积分10

21秒前; atscfpol的应助被无花果采纳，获得10

46秒前; 开心的灭龙完成签到，获得积分10

49秒前; 初景发布了新的文献求助10

51秒前; 忧心的曼凝上传了应助文件

56秒前; plum完成签到，获得积分10

1分钟前; Plant上传了应助文件

1分钟前; 星辰大海的应助被lala采纳，获得10

1分钟前; 斯文尔珍完成签到，获得积分10

1分钟前; 星辰大海上传了应助文件

1分钟前; lala发布了新的文献求助10

1分钟前; 充电宝上传了应助文件

1分钟前; 于早上发布了新的文献求助10

1分钟前; 忧心的曼凝上传了应助文件

1分钟前; 初景关闭了初景的文献求助

1分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

1分钟前; atscfpol上传了应助文件

1分钟前; QIQI发布了新的文献求助10

1分钟前; 哈哈哈哈哈哈发布了新的文献求助10

1分钟前; 丰富的雅绿完成签到，获得积分10

1分钟前; 烟花的应助被wangli采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

2分钟前; 美好秋白完成签到，获得积分10

2分钟前; 小马甲的应助被哈哈哈哈哈哈采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI6.2的应助被科研通管家采纳，获得30

2分钟前; HHXXTTXS发布了新的文献求助10

2分钟前; 忧心的曼凝上传了应助文件

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; Hello上传了应助文件

2分钟前; tomato发布了新的文献求助10

2分钟前; 于早上发布了新的文献求助10

2分钟前; 悦耳的香萱完成签到，获得积分10

2分钟前; 痴情的又亦完成签到，获得积分10

3分钟前; 忧郁思远发布了新的文献求助10

3分钟前; 忧心的曼凝上传了应助文件

3分钟前; 忧郁思远发布了新的文献求助10

3分钟前