Effect of Rapid Thermal Annealing on the Characteristics of Micro Zn-Doped Ga2O3 Films by Using Mixed Atomic Layer Deposition

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标题	Effect of Rapid Thermal Annealing on the Characteristics of Micro Zn-Doped Ga2O3 Films by Using Mixed Atomic Layer Deposition
网址	http://dx.doi.org/10.3390/nano15070499
DOI	10.3390/nano15070499 doi
其它	期刊：Nanomaterials 作者：Jiajia Tao; Xishun Jiang; Aijie Fan; Xianyu Hu; Ping Wang; et al 出版日期：2025-03-26
求助人	憨憨在 2026-11-02 18:52:45 发布自上海，悬赏 10 积分
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