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Characteristics of Conductive Amorphous Carbon (a-C) Films Prepared by Using the Magnetron Sputtering Method 磁控溅射制备导电非晶碳(a-C)薄膜的特性
相关领域
材料科学
溅射沉积
无定形固体
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化学工程
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薄膜
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化学
复合数
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期刊:Journal of the Korean Physical Society 作者:Yong Seob Park; HyungJun Cho; Byungyou Hong 出版日期:2007-09-15 |
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