Cryogenic etching and characterization of nano-sized silicon metadevice

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标题	Cryogenic etching and characterization of nano-sized silicon metadevice 纳米硅元器件的低温刻蚀与表征相关领域材料科学制作蚀刻（微加工）光刻光学光电子学电介质干法蚀刻半最大全宽硅失真（音乐）反应离子刻蚀纳米- 纳米光刻平版印刷术纳米技术复合材料病理物理放大器替代医学医学图层（电子） CMOS芯片
网址	https://doi.org/10.1016/j.optcom.2023.129505
DOI	10.1016/j.optcom.2023.129505 doi
其它	期刊：Optics Communications 作者：Jindong Wang; Huihao Li; Yan Chen; Changhong Sun; Xing Chen; et al 出版日期：2023-04-13
求助人	浪者漫心在 2025-08-28 21:20:24 发布，悬赏 10 积分
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