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 On the role of the energetic species in TiN thin film growth by reactive deep oscillation magnetron sputtering in Ar/N2 相关领域
锡
高功率脉冲磁控溅射
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期刊：Thin Solid Films 作者：J.C. Oliveira; Filipe Fernandes; R. Serra; A. Cavaleiro 出版日期：2017-10-28 |
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