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  Study of wet and dry etching processes for antimonide-based photonic ICs 锑化物基光子IC湿法和干法刻蚀工艺研究
相关领域
材料科学
干法蚀刻
锑
光电子学
蚀刻（微加工）
腐蚀坑密度
表面粗糙度
钝化
各向同性腐蚀
制作
基质（水族馆）
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医学
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