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 Benzethonium chloride as a tungsten corrosion inhibitor in neutral and alkaline media for the post-chemical mechanical planarization application 氯化苄索铵作为钨缓蚀剂在中性和碱性介质中的后化学机械平坦化应用
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期刊：Journal of Colloid and Interface Science 作者：Ranjith Punathil Meethal; Palwasha Jalalzai; None Muskan; Sumit Kumar; Jerome Peter; et al 出版日期：2023-08-01 |
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