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 Oxide-bonded molecular-beam epitaxial backside passivation process for large-format CCDs 大幅面CCD的氧化物键合分子束外延背面钝化工艺
相关领域
钝化
材料科学
氧化物
分子束外延
光电子学
外延
过程（计算）
计算机科学
纳米技术
冶金
操作系统
图层（电子）
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K. K. Ryu, C. W. Leitz, H. R. Clark, X. Chen, M. J. Cooper, M. Zhu, P. B. Welander, R. D. Lambert, V. Bolkhovsky, D.-R. W. Yost, B. E. Burke, J. A. Gregory, V. Suntharalingam Author Affiliations + Proceedings Volume 10699, Space Telescopes and Instrumentation 2018: Ultraviolet to Gamma Ray; 106993P (2018) https://doi.org/10.1117/12.2311512 Event: SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation, 2018, Austin, Texas, United States |
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