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 Effect of Bias Voltage on Substrate for the Structure and Electrical Properties of Y:HfO2 Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Co‐Sputtering 相关领域
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期刊：Advanced electronic materials 作者：Weiqi Zhang; Dayu Zhou; Nana Sun; Jingjing Wang; Shuaidong Li 出版日期：2021-07-18 |
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