Directional atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using Br-based plasma

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标题	Directional atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using Br-based plasma
网址	https://doi.org/10.1116/6.0005127
DOI	10.1116/6.0005127 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Ivy I. Chen; Mariya Ezzy; Emily Hsue-Chi Shi; Clifford F. Frez; Suraj; et al 出版日期：2026
求助人	hxd_BIGpaperer 在 2026-04-12 23:37:51 发布自浙江，悬赏 10 积分
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