Reactive force-field-based molecular dynamics simulation of chemical mechanical polishing of silicon carbide in alcoholic environment

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标题	Reactive force-field-based molecular dynamics simulation of chemical mechanical polishing of silicon carbide in alcoholic environment 相关领域材料科学分子动力学碳化硅抛光力场（虚构）雷亚克夫化学机械平面化领域（数学）纳米技术复合材料计算化学计算机科学人工智能化学数学纯数学原子间势
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109963
DOI	10.1016/j.mssp.2025.109963 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Ling Pan; Shiyang Tan; Changhao Wu; Yunhui Chen 出版日期：2025-08-13
求助人	kasumi 在 2026-03-09 20:59:51 发布自福建，悬赏 10 积分
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