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Reactive force-field-based molecular dynamics simulation of chemical mechanical polishing of silicon carbide in alcoholic environment

材料科学分子动力学碳化硅抛光力场（虚构）雷亚克夫化学机械平面化领域（数学）纳米技术复合材料计算化学计算机科学人工智能化学数学纯数学原子间势

作者

Ling Pan,Shiyang Tan,Changhao Wu,Yunhui Chen

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-08-13 卷期号：200: 109963-109963

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2025.109963

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