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Chemical Properties of Oxidized Silicon Carbide Surfaces upon Etching in Hydrofluoric Acid 相关领域
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期刊:Journal of the American Chemical Society 作者:Sarit Dhar; Oliver Seitz; Mathew D. Halls; Sungho Choi; Yves J. Chabal; et al 出版日期:2009-10-29 |
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