| 标题 |
 Enhancing the structure and piezoelectric properties of AlN/Mo multilayers via insertion of an AlN seed layer 相关领域
材料科学
压电
氮化物
图层（电子）
溅射
压电响应力显微镜
铝
光电子学
复合材料
氮化铝
压电系数
钼
结晶
微电子机械系统
宽禁带半导体
电极
溅射沉积
纳米压痕
表面粗糙度
微观结构
纳米发生器
薄膜
形态学（生物学）
表面光洁度
PMUT公司
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Applied Physics 作者：Hengyi Yin; Xuecui Zou; Yihui Wu; Tongxin Lu; Zilong Xing; et al 出版日期：2026-03-19 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
GingerF
fcjnb
null
极限001
rum
渡人舟
无极微光
YifanWang
sissiarno
Criminology34
DIVINEDC
嘉心糖
kento
masirui
Nole
秋风
herococa
OK
bylee
皖公网安备34019202002308
