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 Random Layout Generation for Middle of Line in Multiple Patterning Technology 相关领域
计算机科学
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电子设计自动化
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期刊：2026 Conference of Science and technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Jiajun Wei; Fei Ai; Xiaojing Su; Yaojia Li; Dong Shen; et al 出版日期：2026 |
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(2025-6-4)
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