Internal modified structure of silicon carbide prepared by ultrafast laser for wafer slicing

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标题	Internal modified structure of silicon carbide prepared by ultrafast laser for wafer slicing
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.10.043
DOI	10.1016/j.ceramint.2022.10.043 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Yuliang Zhang; Xiaozhu Xie; Yaoan Huang; Wei Hu; Jiangyou Long 出版日期：2022-10-07
求助人	chestnut灬在 2026-09-22 10:50:23 发布自北京，悬赏 10 积分
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