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标题
157-nm pellicles for photolithography: mechanistic investigation of the deep-UV photolysis of fluorocarbons
网址
http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?do...
DOI
10.1117/12.534381 doi
其它 期刊：SPIE Proceedings
作者：Kwangjoo Lee; Steffen Jockusch; Nicholas J. Turro; Roger H. French; Robert C. Wheland; et al
出版日期：2004-07-21
求助人
Li 在 2026-07-27 18:50:21 发布自安徽，悬赏 20 积分
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  • 7小时前

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  • 7小时前

    Li Li Lv4 求助人 发起了本次求助

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