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Defect characterization of 28 nm pitch EUV single patterning structures for iN5 node
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DOI
10.1117/12.2584760 doi
其它 期刊:Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV
作者:Kaushik Sah; Sayantan Das; Andrew Cross; Kay Peng; Kha Tran; et al
出版日期:2021-02-22
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tester_gater 在 2026-08-02 15:34:48 发布自上海,悬赏 20 积分
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