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Deposition of SiOC by plasma-free ultra-low-temperature ALD (ULT-ALD) and its passivation on p-type silicon
网址
http://dx.doi.org/10.1109/pvsc.2017.8366266
DOI
10.1109/pvsc.2017.8366266 doi
其它 期刊：2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference (PVSC)
作者：Meixi Chen; Naoto Noda; Raphael Rochat; Abhishek Iyer; James H. Hack; et al
出版日期：2017-06-01
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