Frequency‐comb‐referenced multiwavelength interferometry for high‐precision and high‐speed 3D measurement in heterogeneous semiconductor packaging

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标题	[高分] Frequency‐comb‐referenced multiwavelength interferometry for high‐precision and high‐speed 3D measurement in heterogeneous semiconductor packaging
网址	http://dx.doi.org/10.1515/nanoph-2024-0578
DOI	10.1515/nanoph-2024-0578 doi
其它	期刊：Nanophotonics 作者：Jun Hyung Park; Dae Hee Kim; Huy Hoang Chu; Ji Won Hahm; Guseon Kang; et al 出版日期：2025-02-07
求助人	Song 在 2026-08-25 14:10:00 发布自吉林，悬赏 50 积分
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