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Thermal-mechanical perspectives on hydrophilic- and surface-activated-bonding Si/SiC interfaces for SOI's thermal management enhancement
网址
DOI
10.1063/5.0253834 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Yang He; Shun Wan; Shi Zhou; Zeming Huang; Yongwei Chang; et al
出版日期:2025-03-01
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