| 标题 |
 Ultra-Low Loss Silicon Nitride Waveguides on Monolithic Integrated Photonics Circuits for a Mature 300 mm Wafer Scale Silicon Photonics Platform 相关领域
光子学
硅光子学
薄脆饼
氮化硅
材料科学
光电子学
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晶圆规模集成
硅
集成平台
氮化物
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纳米技术
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图层（电子）
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| 网址 | |
| DOI |
10.1364/cleo_at.2023.am4m.7
doi
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| 其它 |
期刊：CLEO 2023 作者：Yukta P. Timalsina; Gerald Leake; Tat Ngai; Alin Antohe; Siti K. Binti; et al 出版日期：2023-01-01 |
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