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Understanding and Utilizing Reactive Oxygen Reservoirs in Atomic Layer Deposition of Metal Oxides with Ozone
了解和利用臭氧原子层沉积金属氧化物中活性氧库
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臭氧 结晶度 原子层沉积 氧化物 图层（电子） 氧气 沉积（地质） 材料科学 成核 化学工程 无机化学 化学 纳米技术 地质学 有机化学 古生物学 工程类 沉积物
网址
https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.2c00753
DOI
10.1021/acs.chemmater.2c00753 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Joel R. Schneider; Camila de Paula; Nathaniel E. Richey; Jon G. Baker; Solomon T. Oyakhire; et al
出版日期：2022-06-16
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嗷嗷嗷 在 2025-12-08 11:14:10 发布自北京，悬赏 10 积分
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