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 Effect of zirconium addition on the microstructure and mechanical properties of TiSiN films fabricated by reactive magnetron sputtering at room temperature 添加锆对室温反应磁控溅射TiSiN薄膜组织和力学性能的影响
相关领域
材料科学
微观结构
溅射沉积
锆
冶金
复合材料
溅射
碳化锆
腔磁控管
沉积（地质）
薄膜
锆合金
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Evgeniy Boltynjuk; Claudia P. Mejía V.; Mohana V Kante; Carlos M. Garzón; Jhon J Olaya; et al 出版日期：2025-12-01 |
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