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Particle charging during pulsed EUV exposures with afterglow effect
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网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/acf342
AI链接 iop.org tue.nldoi.org
DOI
10.1088/1361-6595/acf342 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Manis Chaudhuri; L.C.J. Heijmans; Mark van de Kerkhof; Pavel Krainov; D. Astakhov; et al
出版日期：2023-08-23
求助人
搜集达人 在 2026-01-05 08:58:58 发布自四川，悬赏 10 积分
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