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标题
Correlation of chemical composition and electrical properties of rf sputtered alumina films
射频溅射氧化铝薄膜化学成分与电学性能的相关性
相关领域
溅射 分析化学（期刊） 材料科学 溅射沉积 腔磁控管 薄膜 化学 纳米技术 色谱法
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.3065978
DOI
10.1116/1.3065978 doi
求助人
早起困困 在 2025-12-05 17:25:58 发布自江西，悬赏 10 积分
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