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 Effects of radiation damage on GaN epitaxial layer arising from argon ion implantation for edge termination 边缘终止用氩离子注入对GaN外延层辐射损伤的影响
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期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms 作者：Meng-Yu Chen; Der-Sheng Chao; Jenq‐Horng Liang 出版日期：2024-03-01 |
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