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Effects of radiation damage on GaN epitaxial layer arising from argon ion implantation for edge termination

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作者
Meng-Yu Chen,Der-Sheng Chao,Jenq‐Horng Liang
出处
期刊:Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
卷期号:550: 165301-165301 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.nimb.2024.165301
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