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Evolution Kinetics of Voids in Electroplated Cu-Cu Wafer Bonding 电镀Cu-Cu晶片键合中空隙的演化动力学
相关领域
材料科学
薄脆饼
电镀
氧化物
阳极连接
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期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者:Tung-Yen Lai; Meiyi Li; Tzu Yen Tseng; Tzu-Chen Lin; Tsan-Feng Lu; et al 出版日期:2021-06-01 |
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