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 Precise angle control for channeling using SS-UHE, a single-wafer ultrahigh-energy ion implanter 利用单晶片超高能离子注入机SS-UHE实现沟道的精确角度控制
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期刊：MRS Advances 作者：Hiroyuki Kariya; Sho Kawatsu; Haruka Sasaki; Yasuhiko Kimura; Noriyasu Ido; et al 出版日期：2023-01-09 |
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