Precise angle control for channeling using SS-UHE, a single-wafer ultrahigh-energy ion implanter

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作者
Hiroyuki Kariya,Sho Kawatsu,Haruka Sasaki,Yasuhiko Kimura,Noriyasu Ido,Yoji Kawasaki,Mitsuaki Kabasawa
出处
期刊:MRS Advances [Springer Science+Business Media]
卷期号:7 (36): 1285-1288 被引量:8
标识
DOI:10.1557/s43580-022-00490-1
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