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On the pole of physical sputtering in reactive ion beam etching
网址
http://dx.doi.org/10.1016/0167-5087(83)90853-0
DOI
10.1016/0167-5087(83)90853-0 doi
其它 期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research
作者：P.C. Zalm; L.J. Beckers; F.H.M. Sanders
出版日期：1983-05-01
求助人
Atlantis 在 2026-10-13 17:29:10 发布自上海，悬赏 10 积分
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