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标题
High-sensitivity positive-tone hybrid EUV resist synthesized by vapor phase metal-oxide infiltration
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3050508
DOI
10.1117/12.3050508 doi
其它 期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLII
作者：Nikhil M. Tiwale; Ashwanth Subramanian; Won-Il Lee; Xinpei Wu; Md Istiaque Chowdhury; et al
出版日期：2025-04-22
求助人
樊珩 在 2026-09-30 00:15:10 发布自上海，悬赏 20 积分
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