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标题
反应等离子沉积装置的性能研究
网址
http://doi.wanfangdata.com.cn/10.3969/j.issn.1006-7086.2017....
DOI
10.3969/j.issn.1006-7086.2017.03.003 doi
其它 期刊：真空与低温
作者：杜荣池
出版日期：2017-01-01
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xiaobing 在 2026-10-15 17:06:14 发布自浙江，悬赏 10 积分
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