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Investigating the pattern transfer fidelity of Norland Optical Adhesive 81 for nanogrooves by microtransfer molding
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DOI
10.1116/6.0001333 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
作者:Rahman Sabahi-Kaviani; Regina Luttge
出版日期:2021-12-01
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霜刃 在 2026-11-04 11:05:57 发布自广东,悬赏 10 积分
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