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Density functional theory study on reaction mechanisms of Co(tbu2DAD)2 for area selective-atomic layer deposition of Co films on metal surfaces
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0002840
DOI
10.1116/6.0002840 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Nickolas Ashburn; Xiuyao Lang; Sumeet C. Pandey; Steven Wolf; Steve Kramer; et al
出版日期：2023-08-28
求助人
科研小白 在 2026-01-06 11:12:07 发布自四川，悬赏 10 积分
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