原子层沉积
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哲学
作者
Xiao Liu,Yu Su,Rong Chen
标识
DOI:10.1088/2631-7990/acc6a7
摘要
Highlights Recent process of atomic layer deposition on catalytic and energy materials is summarized. The enhanced catalytic and electrochemical performances are presented. Atomic layer deposition reactors for mass production are highlighted. The challenges on future applications of atomic layer deposition are discussed.
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