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标题
Insight into the evolution upon ionization from tin-oxo cage photoresist and counterions by DFT calculation
用DFT计算研究锡氧笼光刻胶和抗衡离子的电离演化
相关领域
化学 极紫外光刻 光刻胶 笼子 反离子 紫外线 电离 离子 纳米技术 光电子学 有机化学 物理 组合数学 材料科学 数学 图层(电子)
网址
DOI
10.1039/d3nj01464a doi
其它 期刊:New Journal of Chemistry
作者:Fangling Yang; Zongbiao Ye; Yuqi Chen; Minghui Wang; Panpan Zhou; et al
出版日期:2023-01-01
求助人
wonderingria 在 2025-04-18 15:25:53 发布自上海,悬赏 10 积分
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