Separation of hydrogen from silane via membranes: A step in the production of ultra-high-purity silicon

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标题	Separation of hydrogen from silane via membranes: A step in the production of ultra-high-purity silicon 通过膜从硅烷中分离氢：生产超高纯硅的一个步骤相关领域膜三氯氢硅硅烷氢硅渗透膜技术化学工程材料科学热分解气体分离分解热稳定性化学分析化学（期刊）有机化学工程类生物化学
网址	https://doi.org/10.1016/0376-7388(92)80101-o
DOI	10.1016/0376-7388(92)80101-o doi
其它	期刊：Journal of Membrane Science 作者：Shan-Tao Hsieh; George Keller 出版日期：1992-06-01
求助人	hyd 在 2025-03-18 21:40:39 发布自北京，悬赏 10 积分
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