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 Response Analysis of Nonlinear Free Vibration of Parallel-Plate MEMS Actuators: An Analytical Approximate Method 平行板MEMS作动器非线性自由振动响应分析：解析近似方法
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期刊：Journal of vibration engineering & technologies 作者：Yongping Yu; Lihui Chen; Zhigang Wang; Guoji Liu 出版日期：2020-03-12 |
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