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Response Analysis of Nonlinear Free Vibration of Parallel-Plate MEMS Actuators: An Analytical Approximate Method

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作者
Yongping Yu,Lihui Chen,Zhigang Wang,Guoji Liu
出处
期刊：Journal of vibration engineering & technologies [Springer Science+Business Media]
日期：2020-03-12 卷期号：8 (6): 935-946 被引量：5
标识
DOI：10.1007/s42417-020-00204-7
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