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标题
Novel thermoplastic SOC materials for planarization use in multilayer lithography process
用于多层印刷工艺中平坦化的新型热塑性SOC材料
相关领域
化学机械平面化 材料科学 图层(电子) 旋涂 基质(水族馆) 平版印刷术 光刻胶 纳米技术 光电子学 涂层 复合材料 海洋学 地质学
网址
DOI
10.1117/12.2324693 doi
其它 期刊:
作者:Keisuke Kawashima; Koji Inoue; Takashi Oda; Kazuo Kohmura
出版日期:2018-06-12
求助人
fzy 在 2025-07-16 17:26:07 发布自吉林,悬赏 20 积分
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求助 / 应助时间线
  • 1年前,求助关闭

    fzy fzy Lv32 求助人 关闭了本次求助。

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  • 1年前

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